能耗据称只要十分之一!佳能交付首台新型纳米压印光刻机

能耗据称只要十分之一!佳能交付首台新型纳米压印光刻机

财联社 9 月 27 日讯(编辑 史正丞)全球光刻机产业终于迎来了一个有些 " 不一样 " 的新产品——日本佳能公司本周宣布,成功交付首台新一代纳米压印光刻机。(来源:佳能公司官网)这里首先需要解释一下,佳能的纳米压印光刻(NIL)系统,与阿斯麦的光刻技术有什么区别。传统的光刻机通过将电路图案投影到...
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