国产光刻胶通过量产验证:120nm分辨率 配方全自主设计 10月15日消息,据中国光谷公众号,日前,武汉太紫微光电科技有限公司(以下简称太紫微公司)推出的T150 A光刻胶产品,通过半导体工艺量产验证。T150 A光刻胶实现配方全自主设计,对标国际头部企业主流KrF光刻胶系列。据介绍,相较于国外...